半导体加热器又称氮化铝陶瓷加热器。

一件造价在5w左右，作为一件价格不算便宜的陶瓷消耗品，自然希望它的使用寿命越长越好。

氮化铝陶瓷是一种耐高温的陶瓷材料，它的单晶体导热率是氧化铝的5倍左右，并且可以在2200℃的环境中使用，具有良好的耐热冲击性能。

作为陶瓷，它具有所有陶瓷硬脆材料共有的一个缺点，易碎，加工时容易崩边。8英寸半导体晶圆加热盘是较为常见的加热盘，撇开更大的尺寸不说，8英寸的半导体晶圆加热盘直径高达315mm，能顺利加工出来是一件很难的事。

所以在使用或者移动机器时轻拿轻放可以有效地保护它，同时也要避免它受到重力冲击。拿钢化玻璃来说，汽车碾不坏的钢化玻璃只需在它边角轻轻一敲，整块玻璃就碎了，陶瓷也是同理的了。当然也要防范化学药品对晶圆加热器的侵蚀，虽然氮化铝陶瓷耐酸碱性强，但是万物相克，总有一种化学物会与它发生反应。